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針檢天下,芯系未來——38所超級針X射線成像系統在滬首發

來源:信息發布     作者:信息發布人員     發布時間:2018年10月31日     浏覽次數:         

  10月31日,中國電子科技集團公司第三十八研究所在第92屆中國(上海)電子展上,首次發布一款自主研制的新一代無損檢測設備——超級針X射線成像系統。首發儀式上,中國半導體行業協會副理事長、中國電子信息産業集團公司副總經理陳旭,中國電子科技集團公司科技部副主任李斌等領導和嘉賓共同爲新産品揭幕。中國電科38所所長陳信平、所長助理萬靜龍,有關客戶、行業代表出席發布會。

  微焦點X射線成像系統是工業無損檢測的常規必備設備,由于具有良好的空間分辨率(微米甚至亞微米級),能夠觀察物體內部的精細結構,此類設備廣泛應用于集成電路、電子器件、印刷電路板、傳感器等各種器材的無損檢測。

  隨著集成電路進一步向高集成度、微型化發展,先進封裝工藝對封裝檢測設備提出了新的需求和挑戰。一方面,更精細的封裝尺度要求設備分辨率提升至亞微米級,而目前國際上可生産亞微米級分辨率設備的廠商屈指可數;另一方面,隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用矽、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料,對輕元素材料的檢測需求日益凸顯,對設備檢測範圍提出了更高要求。因此,更高分辨率、更高對比度、更大檢測範圍的X射線檢測設備已成爲集成電路封裝檢測行業急需,以解決當前看不清、看不見等問題。超級針X射線成像系統的首次亮相,將有望改變這一現狀。

  對此類X射線檢測設備而言,X射線源就相當于“心髒”,其性能直接決定了設備的檢測能力。超級針X射線成像系統采用超級針X射線源技術,具有完全自主知識産權,因而以“超級針”冠名。中國電科38所研發團隊經過近十年技術攻關,成功將超級針射線源應用于微焦點X射線成像系統,開發了“源”創産品。超級針X射線成像系統分辨率小于1微米(相當于人類發絲的百分之一),成像清晰,性能穩定,它還具備較強的低能成像能力,使其在矽、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測方面優勢明顯。目前,中國電科38所針對該産品,已申請30余項國內外發明專利,其中申請美、日、歐等國際專利12項。

  中國電科38所相關負責人表示,基于超級針X射線源技術,可面向集成電路、軍工航天、汽車電子、醫療診斷、文物保護等不同應用領域,開發系列超級針X射線成像設備,實現産品系列化、多樣化開發,未來具有較大的發展前景。

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